| 发明名称 | 用于重新定位用于基板载体的支架的方法和设备 | ||
| 摘要 | 在第一方面中，提供一种重新定位由末端执行器提供的支架的第一方法。该第一方法包括步骤：(1)使用末端执行器以通过基板载体的底部支撑基板载体；(2)将基板载体自末端执行器转移到中间支撑位置，其中中间支撑位置通过基板载体的底部支撑基板载体；(3)接近基板载体的架空转移凸缘重新定位末端执行器；(4)使用末端执行器以通过基板载体的架空转移凸缘支撑基板载体；和(5)自中间支撑位置转移基板载体。提供了很多其他的方面。 | ||
| 申请公布号 | CN100568479C | 申请公布日期 | 2009.12.09 |
| 申请号 | CN200510113300.1 | 申请日期 | 2005.07.14 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | M·R·艾利奥特;M·R·莱斯 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 李 玲 |
| 主权项 | 1.一种用于重新定位由末端执行器提供的支架的方法，包括：使用末端执行器以通过基板载体的底部来支撑基板载体；将基板载体自末端执行器转移到中间支撑位置，其中中间支撑位置通过基板载体的底部来支撑基板载体；接近基板载体的架空转移凸缘重新定位末端执行器；使用末端执行器，以通过基板载体的架空转移凸缘来支撑基板载体；和自中间支撑位置转移基板载体。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||