发明名称 硬質コーティング層とその形成方法
摘要 The present invention relates to hard coating layer and a method for forming the hard coating layer. A method for forming hard coating layer which comprises: washing a substrate; installing the washed substrate in a vacuum equipment, and vacuating the chamber of the vacuum equipment; cleaning the substrate; forming oblique coating layer on the substrate; and forming vertical coating layer, vertically to the substrate, on the oblique coating layer by applying bias-voltage after forming oblique coating layer is provided. According to present invention, hardness of coating layer may be enhanced by forming a oblique coating layer and vertical coating layer on a substrate.
申请公布号 JP5961029(B2) 申请公布日期 2016.08.02
申请号 JP20120097028 申请日期 2012.04.20
申请人 リサーチ インスティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー 发明人 梁 智勳;鄭 在仁
分类号 C23C14/24;C23C14/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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