| 摘要 |
본 발명은 그래핀 전사필름 제조방법 및 그래핀 전사필름 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 전사필름 제조방법은, 탄소화 촉매를 포함하는 그래핀 성장필름 표면에 그래핀을 형성하는 단계와, 캐리어 필름과 상기 그래핀 성장필름의 상기 그래핀이 형성된 표면이 서로 마주보도록 상기 캐리어 필름 및 상기 그래핀 성장필름을 배치하는 단계와, 상기 그래핀과 상기 캐리어 필름이 달라붙도록 상기 그래핀 성장필름 또는 상기 캐리어 필름 중 적어도 하나를 공압으로 가압하는 가하는 단계와, 상기 그래핀 성장필름을 제거하는 단계를 포함한다. 또한 본 발명에 따른 그래핀 전사필름 제조장치는, 캐리어 필름이 감겨져 배치되는 제1릴과, 상기 제1릴에 배치된 캐리어 필름을 풀어 제1위치로 이동시키는 제1이송시스템과, 그래핀 성장필름이 감겨져 배치되는 제2릴과, 상기 제2릴에 배치된 상기 그래핀 성장필름을 풀어 상기 1위치의 상기 그래핀 성장필름에 대면되는 제2위치로 이동시키는 제2이송시스템과, 상기 그래핀 성장필름의 상기 제2릴과 상기 제2위치 사이의 이동경로 상에 배치되며 상기 그래핀 성장필름의 상기 캐리어 필름에 대면하는 면에 그래핀을 형성하는 그래핀 합성챔버와, 상기 제1위치의 상기 캐리어 필름과 제2위치의 상기 그래핀이 달라붙도록 상기 제1위치의 상기 캐리어 필름 또는 제2위치의 상기 그래핀 성장필름 중 어느 하나에 공압을 가하는 제1분사노즐과, 상기 캐리어 필름의 상기 제1위치 이후의 이송경로 상에 배치되며 상기 그래핀 성장필름을 제거하는 그래핀 성장필름 제거부를 구비한다. |
