| 摘要 |
본 발명은 내부에 기체가 통과되는 통로가 형성되는 기체 공급부와, 내부에 상기 통로와 연통하는 기체 검사공간이 형성되고, 상기 기체 검사공간의 적어도 일부를 감싸는 전자빔 투과부재를 구비하는 기체 수용부와, 상기 기체 수용부로 전자빔을 주사 가능한 전자빔 발생수단을 구비하는 전자빔 주사부와, 상기 전자빔 투과부재를 향하는 방향으로 상기 전자빔 주사부의 일측에 연결되는 검출부와, 상기 검출부에 연결되는 데이터 처리부를 포함하는 기체 성분 검사 장치로서, 기체 검사공간으로 검사 대상 기체를 통과시키는 과정과, 상기 기체 검사공간으로 전자빔을 주사하는 과정과, 상기 기체 검사공간에서 생성되는 X-선을 검출하는 과정과, 검출되는 상기 X-선을 이용하여 상기 기체의 성분을 분석하는 과정을 수행하여 다양한 성분의 기체를 하나의 장치에서 용이하게 분석할 수 있고, 기체의 정성적 검사 결과 및 정량적 검사 결과를 한번에 획득할 수 있으며, 그 결과의 해석이 종래보다 용이한 기체 성분 검사 장치 및 기체 성분 검사 방법이 제시된다. |
