振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法

摘要

本发明提供了一种振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法，调整所述扫描反射镜的振幅，采样扫描反射镜的实时振幅以及光电探测器输出的实时电压值，计算出补偿后的实时解调量Si，并记录工件台的实时离焦量Hi，根据所述补偿后的实时解调量Si和工件台的实时离焦量Hi建立数据库；实际测量时，实时采样所述扫描反射镜的实际振幅以及光电探测器输出的实际电压值，计算出补偿后的实际解调量Sk，利用线性插值法查找所述数据库，求出工件台的实际离焦量Hk；避免了由于扫描反射镜长期工作，出现稳定性差的现象，导致调焦调平检测装置对硅片表面离焦量的测量精度不高的问题。

主权项

一种振幅监测系统，其特征在于，包括：扫描反射镜、及驱动所述扫描反射镜做简谐运动的控制模块；其中，所述扫描反射镜上设置有光栅尺；所述光栅尺用于测量所述扫描反射镜的实时振动角度。