Vorrichtung für elastische Wellen und Herstellungsverfahren dafür

摘要

Es wird eine Vorrichtung für elastische Wellen bereitgestellt, in der vermieden wird, dass ein piezoelektrischer Dünnfilm leicht bricht oder sich leicht ablöst. Bei einer Vorrichtung für elastische Wellen 1 wird ein Mehrschichtfilm 3, der durch Verlaminieren mehrerer Filme, einschließlich eines piezoelektrischen Dünnfilms 6, gebildet wird, auf ein Stützsubstrat 2 laminiert, eine Interdigitaltransducer-Elektrode 11 wird auf einer Fläche des piezoelektrischen Dünnfilms 6 bereitgestellt, eine Verdrahtungselektrode 12 wird mit der Interdigitaltransducer-Elektrode 11 verbunden, die Verdrahtungselektrode 12 enthält einen Zuleitungselektrodenabschnitt 13 und einen Kontaktinselelektrodenabschnitt 14, ein externer Verbindungsanschluss 7 befindet sich oberhalb des Kontaktinselelektrodenabschnitts 14, der externe Verbindungsanschluss 7 wird elektrisch mit dem Kontaktinselelektrodenabschnitt 14 verbunden, und der externe Verbindungsanschluss 7 wird auf den Kontaktinselelektrodenabschnitt 14 auf dem Stützsubstrat 2 dergestalt gebondet, dass mindestens der piezoelektrische Dünnfilm 6 des Mehrschichtfilms 3 nicht unterhalb des Kontaktinselelektrodenabschnitts 14 vorhanden ist.