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发明名称 Verfahren zum Herstellen von integrierten Schaltungen mit FET.
摘要
申请公布号 DE3888937(D1) 申请公布日期 1994.05.11
申请号 DE19883888937 申请日期 1988.11.25
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 LEE, KUO-HUA, WESCOSVILLE PENNSYLVANIA 18106, US;LU, CHIH-YUAN, WESCOSVILLE PENNSYLVANIA 18106, US;YANEY, DAVID STANLEY, BETHLEHEM PENNSYLVANIA 18017, US
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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