| 发明名称 |
METHOD FOR ANISOTROPIC ETCHING OF TUNGSTEN BY USING SULFUR HEXAFLUORIDE, TRIFLUOROMETHANE AND NITROGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10326774(A) |
申请公布日期 |
1998.12.08 |
| 申请号 |
JP19980093507 |
申请日期 |
1998.04.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SHIAU GUANG-JYE;HERZ PAUL;DENG XIAN-CAN;MA XIAOBING DIANA |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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