DEVICE FOR RAPIDLY MEASURING ANGLE-DEPENDENT DIFFRACTION EFFECTS ON FINELY STRUCTURED SURFACES,申请号EP20000925151-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR RAPIDLY MEASURING ANGLE-DEPENDENT DIFFRACTION EFFECTS ON FINELY STRUCTURED SURFACES
摘要
申请公布号	EP1166090(A2)	申请公布日期	2002.01.02
申请号	EP20000925151	申请日期	2000.03.31
申请人	SEMICONDUCTOR300 GMBH & CO. KG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	BENESCH, NORBERT;SCHNEIDER, CLAUS;PFITZNER, LOTHAR
分类号	G01B11/24;G01B11/30;G01N21/00;G01N21/47;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/47	主分类号	G01B11/24
代理机构		代理人
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