发明名称 薄膜晶体管基板及其制造方法
摘要 一种薄膜晶体管基板,包括:绝缘基板;栅电极,形成在绝缘基板上;第一栅极绝缘膜,形成在栅电极上,并具有暴露至少一部分栅电极的开口;第二栅极绝缘膜,覆盖由开口暴露的栅电极,并具有大于第一栅极绝缘膜的介电常数;源电极和漏电极,彼此分开布置在第二栅极绝缘膜的中心区域,并在其之间限定了沟道区;以及有机半导体层,形成在沟道区中。还提供了一种制造TFT基板的方法。因此,本发明提供了一种TFT基板,其中TFT的特性被改进。
申请公布号 CN1905232A 申请公布日期 2007.01.31
申请号 CN200610103288.0 申请日期 2006.07.24
申请人 三星电子株式会社 发明人 金保成;金洙真;金泳敏;宋根圭;李容旭;洪雯杓;崔泰荣;吴俊鹤
分类号 H01L51/05(2006.01);H01L51/10(2006.01);H01L51/40(2006.01);H01L27/28(2006.01);H01L21/84(2006.01) 主分类号 H01L51/05(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 李伟
主权项 1.一种薄膜晶体管基板,包括:绝缘基板;栅电极,形成在所述绝缘基板上;第一栅极绝缘膜,形成在所述栅电极上,并具有暴露至少一部分所述栅电极的开口;第二栅极绝缘膜,覆盖由所述开口暴露的所述栅电极,并具有大于所述第一栅极绝缘膜的介电常数;源电极和漏电极,彼此分开布置在所述第二栅极绝缘膜的中心区域,并在所述源电极和所述漏电极之间限定了沟道区;以及有机半导体层,形成在所述沟道区中。
地址 韩国京畿道