发明名称 |
薄膜晶体管基板及其制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管基板,包括:绝缘基板;栅电极,形成在绝缘基板上;第一栅极绝缘膜,形成在栅电极上,并具有暴露至少一部分栅电极的开口;第二栅极绝缘膜,覆盖由开口暴露的栅电极,并具有大于第一栅极绝缘膜的介电常数;源电极和漏电极,彼此分开布置在第二栅极绝缘膜的中心区域,并在其之间限定了沟道区;以及有机半导体层,形成在沟道区中。还提供了一种制造TFT基板的方法。因此,本发明提供了一种TFT基板,其中TFT的特性被改进。 |
申请公布号 |
CN1905232A |
申请公布日期 |
2007.01.31 |
申请号 |
CN200610103288.0 |
申请日期 |
2006.07.24 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金保成;金洙真;金泳敏;宋根圭;李容旭;洪雯杓;崔泰荣;吴俊鹤 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01);H01L51/10(2006.01);H01L51/40(2006.01);H01L27/28(2006.01);H01L21/84(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
李伟 |
主权项 |
1.一种薄膜晶体管基板,包括:绝缘基板;栅电极,形成在所述绝缘基板上;第一栅极绝缘膜,形成在所述栅电极上,并具有暴露至少一部分所述栅电极的开口;第二栅极绝缘膜,覆盖由所述开口暴露的所述栅电极,并具有大于所述第一栅极绝缘膜的介电常数;源电极和漏电极,彼此分开布置在所述第二栅极绝缘膜的中心区域,并在所述源电极和所述漏电极之间限定了沟道区;以及有机半导体层,形成在所述沟道区中。 |
地址 |
韩国京畿道 |