发明名称 |
用于同时喷墨打印和缺陷检验的方法和设备 |
摘要 |
本发明提供了一种用于同时进行喷墨打印和缺陷检验的系统。该系统包括:至少一个打印头,用于在基板上沉积墨水;至少一个成像装置,用于在打印操作过程中扫描基板;和控制器,用于接收由成像装置扫描的图像数据,利用经处理的图像数据确定是否在基板上存在任何打印缺陷,并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。成像装置用于在每一次打印操作期间扫描基板。本发明还公开了许多其它的方面。 |
申请公布号 |
CN1903573A |
申请公布日期 |
2007.01.31 |
申请号 |
CN200610103980.3 |
申请日期 |
2006.07.28 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
上泉元;罗伯特·巴查迟 |
分类号 |
B41J2/01(2006.01);B41J29/393(2006.01) |
主分类号 |
B41J2/01(2006.01) |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
赵飞 |
主权项 |
1.一种设备,包括:至少一个打印头,用于在基板上沉积墨水;至少一个成像装置,用于在打印操作期间扫描所述基板;和控制器,用于接收由所述成像装置扫描的图像数据,利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷,并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |