发明名称 用于同时喷墨打印和缺陷检验的方法和设备
摘要 本发明提供了一种用于同时进行喷墨打印和缺陷检验的系统。该系统包括:至少一个打印头,用于在基板上沉积墨水;至少一个成像装置,用于在打印操作过程中扫描基板;和控制器,用于接收由成像装置扫描的图像数据,利用经处理的图像数据确定是否在基板上存在任何打印缺陷,并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。成像装置用于在每一次打印操作期间扫描基板。本发明还公开了许多其它的方面。
申请公布号 CN1903573A 申请公布日期 2007.01.31
申请号 CN200610103980.3 申请日期 2006.07.28
申请人 应用材料公司 发明人 上泉元;罗伯特·巴查迟
分类号 B41J2/01(2006.01);B41J29/393(2006.01) 主分类号 B41J2/01(2006.01)
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 赵飞
主权项 1.一种设备,包括:至少一个打印头,用于在基板上沉积墨水;至少一个成像装置,用于在打印操作期间扫描所述基板;和控制器,用于接收由所述成像装置扫描的图像数据,利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷,并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。
地址 美国加利福尼亚州