发明名称 |
角速度传感器 |
摘要 |
一种角速度传感器,包括:第一平衡环部;第二平衡环部,其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接;框架部,其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接;第一静电耦合部,设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合;以及第二静电耦合部,设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合。在所述第一平衡环部中,沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。 |
申请公布号 |
CN1904553A |
申请公布日期 |
2007.01.31 |
申请号 |
CN200610107860.0 |
申请日期 |
2006.07.26 |
申请人 |
富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
发明人 |
石川宽;佐野聪;胜木隆史;高桥勇治;中沢文彦;山地隆行 |
分类号 |
G01C19/56(2006.01) |
主分类号 |
G01C19/56(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈坚 |
主权项 |
1、一种角速度传感器,包括:第一平衡环部;第二平衡环部,其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接;框架部,其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接;第一静电耦合部,设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合;以及第二静电耦合部,设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合,其中在所述第一平衡环部中,沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。 |
地址 |
日本神奈川县 |