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发明名称
摘要
申请公布号 JP2008547241(A) 申请公布日期 2008.12.25
申请号 JP20080535510 申请日期 2006.05.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/8238;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/15;H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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