| 摘要 |
테스트 대상 디바이스(DUT)들의 고속 테스트를 위한 자동화 테스트 장비는 각각의 DUT의 신호 입력 단자에 가해지는 고속 전기 테스트 신호를 생성하는 테스터 채널 회로, 및 DUT들과 물리적 및 전기적인 접촉을 이루는 콘택터 기판을 포함한다. 콘택터 기판은 (1) 고속 전기 테스트 신호가 수신되는 전기 콘택트, (2) 전기 콘택트로부터 각각의 DUT의 신호 입력 단자에 각각 인접한 격리 영역들까지 연장하는 도전성 에치, 및 (3) 각각의 격리 영역에서 콘택터 기판의 내부 층 상에 형성되고 도전성 에치와 각각의 DUT의 인접한 신호 입력 단자 사이의 연결을 형성하는 임베디드 직렬 격리 저항기를 포함하는 고속 신호 전송 채널을 갖는다. |
