| 发明名称 |
Stage apparatus and linear motor, and exposure apparatus and device production method using the stage apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0768705(A3) |
申请公布日期 |
1998.03.25 |
| 申请号 |
EP19960307275 |
申请日期 |
1996.10.04 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KORENAGA, NOBUSHIGE;EBINUMA, RYUICHI |
| 分类号 |
B23Q5/28;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/03;H02K41/035;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B23Q5/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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