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发明名称 IC ELEMENT WORK METHOD
摘要
申请公布号 JPH1131694(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19980123107 申请日期 1998.05.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI HIROSHI;HONGO MIKIO;MIYAUCHI TAKEOKI;SHIMASE AKIRA;HARAICHI SATOSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO;SAITOU KEIYA
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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