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Eine Plasmaätzvorrichtung weist auf: eine Vakuumkammer; einen drehbaren elektrostatischen Spanntisch zum Halten eines Werkstücks in der Vakuumkammer; eine Düse zum Zuführen eines Plasmaätzgases zu einem Teil des Werkstücks, das an dem elektrostatischen Spanntisch gehalten wird; eine Düsenoszillationseinheit zum Oszillieren der Düse auf so eine Weise, dass sie einen horizontalen gekrümmten Lokus zwischen einem Bereich, der dem Mittelpunkt des elektrostatischen Spanntischs entspricht, und einem Bereich, der dem äußeren Umfang des elektrostatischen Spanntischs entspricht, beschreibt; und eine Steuerungseinheit, die das Rotationsausmaß des elektrostatischen Spanntischs und die Position der Düse steuert, um dadurch die Düse in einem Bereich zu positionieren, der einem beliebigen Teil des Werkstücks entspricht, das an dem elektrostatischen Spanntisch gehalten wird. |
