发明名称 INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING POLARIZATION CHARACTERISTIC
摘要
申请公布号 JPH1130582(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970199250 申请日期 1997.07.09
申请人 NIKON CORP 发明人 SUGIYAMA KIWA
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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