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发明名称 MAIN VALVE MECHANISM OF SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1130352(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970202483 申请日期 1997.07.11
申请人 ANELVA CORP 发明人 IKEZAKI TARO;ISHIHARA MASAHITO
分类号 F16K24/00;(IPC1-7):F16K24/00 主分类号 F16K24/00
代理机构 代理人
主权项
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