| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317401(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19980123340 |
申请日期 |
1998.05.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TATEFURU NOBORU;TAKAHASHI TAKESHI;HAYASHI YUKIO;MASHITA KATSUMI;KITAHARA TOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/768;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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