| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SURFACE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317387(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19980374401 |
申请日期 |
1998.12.28 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
TAKAHASHI KATSUHIRO;KURASHINA OSAMU;TSUTSUI TAKUJI;AKIYAMA HIROAKI;MIYAJIMA HIROO;MORI YOSHIAKI |
| 分类号 |
B08B5/00;B23K1/20;C23C8/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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