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发明名称 IMPROVED PARTICLE BEAM IMAGING SYSTEM WITH HOLLOW BEAM LIGHTING
摘要
申请公布号 JPH11317187(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980156539 申请日期 1998.04.30
申请人 NIKON CORP 发明人 GOLLADAY STEVEN D
分类号 G03F7/20;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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