发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11317186(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980134231 申请日期 1998.04.30
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIMIZU HIROYASU
分类号 G03F7/20;H01J37/141;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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