图案描绘方法、压模制造方法及图案描绘装置

摘要

本发明提供一种能描绘图案的图案描绘方法，该图案描绘方法使得形成区域中的内圆周一侧及外圆周一侧的两端成直线。在一边使表面形成树脂层的基材沿箭头R的方向旋转，一边将构成凹凸图案的凸部及凹部中一方的平面图案描绘在树脂层上时，在应该形成一方的形成区域(A0)上的从沿基材的旋转方向的带状曝光区域(A1)的旋转方向的一端部侧至另一端部侧之间，间歇地两次(N次)照射描绘用电子束，通过这样对沿旋转方向的两个带状照射区域(A1a、A1b)，照射描绘用电子束。

主权项

1.一种图案描绘方法，其特征在于，在一边使表面形成树脂层的基板旋转，一边将构成凹凸图案的凸部及凹部中一方的平面图案描绘在该树脂层上时，在应该形成所述一方的形成区域上的从沿所述基材的旋转方向的带状照射区域的该旋转方向的一端部侧开始到另一端部侧之间，间歇地照射N次(N为大于等于2的自然数)描绘用束，通过这样对沿所述旋转方向的N个带状照射区域，照射该描绘用束。