APPARATUS AND METHODS FOR A LOW INDUCTANCE PLASMA CHAMBER,申请号KR20050062758-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS AND METHODS FOR A LOW INDUCTANCE PLASMA CHAMBER
摘要
申请公布号	KR100767812(B1)	申请公布日期	2007.10.17
申请号	KR20050062758	申请日期	2005.07.12
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/3065	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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