原版数据生成方法、原版生成方法、曝光方法和器件制造方法

摘要

本发明涉及原版数据生成方法、原版生成方法、曝光方法和器件制造方法。所述原版数据生成方法包括：基于表示利用照明光在投影光学系统的光瞳面上形成的光强度分布的函数以及投影光学系统的光瞳函数，计算二维透射交叉系数；基于所计算出的二维透射交叉系数和投影光学系统的物面上的第一图案，计算近似空间像，所述近似空间像是通过投影光学系统的像面上的空间像的多个分量中的至少一个分量对所述空间像进行近似而获得的；基于所述近似空间像，生成具有所述物面上的第一图案以及辅助图案的另一图案；以及生成原版数据，所述原版数据包括通过使用由所述生成处理生成的所述另一图案作为所述物面上的第一图案重复地执行所述计算处理和所述生成处理而生成的图案。

主权项

1.一种用于生成原版的数据的方法，该数据在利用照明光对原版进行照明以及通过投影光学系统将原版上的图案的图像投影到衬底上的处理过程中使用，所述方法包括：基于表示利用照明光在投影光学系统的光瞳面上形成的光强度分布的函数以及投影光学系统的光瞳函数，计算二维透射交叉系数；基于所计算出的二维透射交叉系数和投影光学系统的物面上的第一图案，计算近似空间像，所述近似空间像是通过投影光学系统的像面上的空间像的多个分量中的至少一个分量对所述空间像进行近似而获得的；基于所述近似空间像，生成具有所述物面上的第一图案以及辅助图案的另一图案；以及生成原版数据，所述原版数据包括通过使用由所述生成处理生成的所述另一图案作为所述物面上的第一图案重复地执行所述计算处理和所述生成处理而生成的图案。