| 摘要 |
본 명세서에서는 두 개 이상의 광 경로를 갖는 스테레오 현미경에 조립 가능한 3차원 측정 장치를 개시하며, 상기 3차원 형상 측정 장치는, 상기 스테레오 현미경의 제1 광 경로의 단부에 부착되어, 상기 제1 광 경로를 통해 측정 대상물에 패턴광을 조사하는 패턴광 조사부 및 상기 스테레오 현미경의 제2 광 경로의 단부에 부착되어, 상기 측정 대상물에 반사되어 상기 제2 광 경로를 통해 수신된 반사광을 분석하는 이미지 검출부를 포함할 수 있다. |
