摘要 |
Magnetoresistiver Sensor zur Bestimmung einer Position des Sensors relativ zu einem gegenüber dem Sensor verschiebbaren in Messrichtung x der Verschiebung periodischen Magnetfeld, wobei die Widerstände des Sensors aus Streifenabschnitten magnetoresistiver Materialien gebildet sind, die den gigantischen magnetoresistiven (GMR) Effekt, bei dem der Widerstandswert durch widerstandsbestimmende Winkel (β) zwischen den Richtungen der Magnetisierungen (M1; M2) von zwei unterschiedlichen Komponenten des magnetoresistiven Materials, oder den anisotropen magnetoresistiven (AMR) Effekt, bei dem der Widerstandswert durch widerstandsbestimmende Winkel (α) zwischen der Stromrichtung (I) und der Richtung der Magnetisierung (M) der AMR-Schicht bestimmt ist, aufweisen, und wobei mindestens jeweils 2 Streifenabschnitte eines Widerstandes an unterschiedlichen Orten bezüglich der Messrichtung x angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass zur Maximierung der Signalamplitude des Sensors in allen einen Widerstand (9; 10) des magnetoresistiven Sensors bildenden elektrisch miteinander verbundenen Streifenabschnitten (5) die Längsrichtungen der Streifenabschnitte (AMR) bzw. die Richtungen der festen Magnetisierung der Streifenabschnitte (GMR) abhängig von ihrer Lage auf dem Sensorchip in x-Richtung unterschiedliche Winkel zur x-Achse aufweisen, sodass bei jeder Verschiebung zwischen Sensor und Magnetfeld (2) entlang der Messrichtung x im Wesentlichen miteinander übereinstimmende Werte der widerstandsbestimmenden Winkel (α oder β) vorhanden sind. |