发明名称 | 芳香族羟基羧酸树脂的部分酯化产物及其应用 | ||
摘要 | 本发明涉及一种部分酯化产物,该产物是通过进行部分酯化下式(11)所示的羟基羧酸树脂中的羧基而制得的,式(11)中各个A可以是相同的或不相同的,并分别表示取代的或未取代苯基或萘基,R<SUP>1</SUP>表示氢原子或C<SUB>1-4</SUB>的烷其,R<SUP>2</SUP>表示氢原子或C<SUB>1-10</SUB>的烷基、C<SUB>1-10</SUB>的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数。本发明还涉及包含此部分酯化产物的抗光蚀剂组合物。 | ||
申请公布号 | CN1296024A | 申请公布日期 | 2001.05.23 |
申请号 | CN00127090.7 | 申请日期 | 1995.08.25 |
申请人 | 三井化学株式会社 | 发明人 | 唐泽昭夫;山口彰宏;山口桂三郎;石原裕子 |
分类号 | C08G63/00 | 主分类号 | C08G63/00 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨丽琴 |
主权项 | 1.一种部分酯化产物,该产物是通过进行部分酯化下式(11)所示的羟基羧酸树脂中的羧基而制得的<img file="0012709000021.GIF" wi="1448" he="662" />式中各个A可以是相同的或不相同的,并分别表示取代的或未取代苯基或萘基,R<sup>1</sup>表示氢原子或C<sub>1-4</sub>的烷基,R<sup>2</sup>表示氢原子或C<sub>1-10</sub>的烷基、C<sub>1-10</sub>的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数。 | ||
地址 | 日本东京都 |