发明名称 芳香族羟基羧酸树脂的部分酯化产物及其应用
摘要 本发明涉及一种部分酯化产物,该产物是通过进行部分酯化下式(11)所示的羟基羧酸树脂中的羧基而制得的,式(11)中各个A可以是相同的或不相同的,并分别表示取代的或未取代苯基或萘基,R<SUP>1</SUP>表示氢原子或C<SUB>1-4</SUB>的烷其,R<SUP>2</SUP>表示氢原子或C<SUB>1-10</SUB>的烷基、C<SUB>1-10</SUB>的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数。本发明还涉及包含此部分酯化产物的抗光蚀剂组合物。
申请公布号 CN1296024A 申请公布日期 2001.05.23
申请号 CN00127090.7 申请日期 1995.08.25
申请人 三井化学株式会社 发明人 唐泽昭夫;山口彰宏;山口桂三郎;石原裕子
分类号 C08G63/00 主分类号 C08G63/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨丽琴
主权项 1.一种部分酯化产物,该产物是通过进行部分酯化下式(11)所示的羟基羧酸树脂中的羧基而制得的<img file="0012709000021.GIF" wi="1448" he="662" />式中各个A可以是相同的或不相同的,并分别表示取代的或未取代苯基或萘基,R<sup>1</sup>表示氢原子或C<sub>1-4</sub>的烷基,R<sup>2</sup>表示氢原子或C<sub>1-10</sub>的烷基、C<sub>1-10</sub>的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数。
地址 日本东京都