发明名称 置换和吸附制造真空环境法
摘要 本发明提供一种制造高真空的方法,由密封容器和被清除空气组成,采用高纯度的低温二氧化碳充入容器内,采用溢出法首先置换出空气,然后采用强碱进行二氧化碳吸附制造真空的办法,相比于目前的技术而言,真空度能制造到10~100Pa左右。
申请公布号 CN101260874A 申请公布日期 2008.09.10
申请号 CN200710191658.5 申请日期 2007.12.13
申请人 苏州市南极风能源设备有限公司 发明人 杨贻方;叶海英
分类号 F04B37/04(2006.01);F04B37/14(2006.01) 主分类号 F04B37/04(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种制造高真空的方法,由密封容器和被清除空气组成,其特征在于采用高纯度的低温二氧化碳充入容器内,采用溢出法首先置换出空气,然后采用强碱进行二氧化碳吸附制造真空的办法。
地址 215200江苏省吴江市科技创业园402室