一种高均匀性的电热MEMS微镜/微镜阵列及制造方法

摘要

一种集成MEMS微镜阵列，包括M×N个热驱动MEMS微镜单元1、器件层PAD2、底部PAD3、TSV通孔4、TSV基底5和电引线6，其中M、N为大于等于1的整数，该热驱动MEMS微镜单元1包括镜面1‑1、驱动臂1‑2和镜框1‑3，镜面1‑1通过驱动臂1‑2连接在镜框1‑3上，驱动臂1‑2通过电引线6依次与器件层PAD2、TSV通孔4和底部PAD3电连接，驱动臂1‑2位于镜面1‑1的侧面。本申请通过键合带热驱动结构图形的SOI圆片和带腔TSV圆片，解决了热驱动MEMS微镜的释放均匀性、阵列结构的引线电阻分布不均和散热困难的技术问题。

主权项

一种集成MEMS微镜阵列，其特征在于包括M×N个热驱动MEMS微镜单元（1）、器件层PAD（2）、底部PAD（3）、TSV通孔（4）、TSV基底（5）和电引线（6），其中M、N为大于等于1的整数，该热驱动MEMS微镜单元（1）包括镜面（1‑1）、驱动臂（1‑2）和镜框（1‑3），镜面（1‑1）通过驱动臂（1‑2）连接在镜框（1‑3）上，驱动臂（1‑2）通过电引线（6）依次与器件层PAD（2）、TSV通孔（4）和底部PAD（3）电连接，驱动臂（1‑2）位于镜面（1‑1）的侧面。