发明名称
摘要
申请公布号 JP3861178(B2) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 JP20020253116 申请日期 2002.08.30
申请人 发明人
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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