发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Erkennungsvorrichtung für eine dynamische Größe
摘要
申请公布号 DE10316552(B4) 申请公布日期 2009.03.19
申请号 DE2003116552 申请日期 2003.04.10
申请人 DENSO CORP. 发明人 SUZUKI, YASUTOSHI;YOSHIHARA, SHINJI
分类号 G01L9/00;H01L21/58;H01L21/324;H01L21/60;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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