具有N-氨基脒基配体的金属络合物

摘要

本发明涉及新颖的具有N‑氨基脒基配体的金属络合物，更具体地涉及具有N,N’‑双(二甲氨基)乙脒基、N,N’‑双(二甲氨基)甲脒基、N‑二甲氨基乙脒基或N‑二甲氨基‑N’‑异丙基‑乙脒基配体的金属络合物，以及它们的制备及用途。这些金属络合物的特征为五元螯合环。这些金属络合物是使用来自PTE的主族金属、而且还与过渡族元素例如钽（Ta）、铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、铜（Cu）或锌（Zn），并且还与贵金属如钯（Pd）形成的。本发明的络合物作为前体被用于通过气相薄膜方法如CVD、MO‑CVD和ALD来制备功能层。另外它们可以用作烯烃氢胺化和烯烃聚合的催化剂。

主权项

具有至少一个N‑氨基脒基配体的金属络合物，其中这些金属络合物具有根据通式1的结构其中M是一种选自下组的金属：铝、镓、铟、硅、钛、铪、镍或钯，R¹是氢或一个具有最高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基，R²和R³彼此独立地是氢、CH₃或C₂H₅，R⁴是氢或一个具有最高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基，NH₂、N(CH₃)₂或N(C₂H₅)₂，X是一个单阴离子的共配体，该共配体选自H^‑，选自卤根的组，选自具有最高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基化物基团的组或选自NMe₂^‑、NEt₂^‑、NMeEt^‑或N‑吡咯烷根的组，Y是选自[NR⁵]^2‑的一个二价阴离子的共配体，其中R⁵是具有最高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基，L是一种中性的2‑电子供体配体，a是1与4之间的一个整数，并且n彼此独立地是0、1、2、3、或4m是0或1，p是0。