发明名称 打线装置之球体形成装置及接合装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.04.21
申请号 TW096122409 申请日期 2007.06.22
申请人 新川股份有限公司 发明人 西浦信一;宫野文男;堀乃正幸
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种打线装置之球体形成装置,具备毛细管,将该毛细管保持在一端部的接合臂,在插通于毛细管之引线前端形成球体的放电枪,及固定于打线装置之接合头或XY载台、以将引线前端部形成为气体环境气氛的气体环境气氛形成机构,其特征在于:该气体环境气氛形成机构,具备该接合臂侧之开口较该接合臂之毛细管安装部分宽广且上下延伸、具有复数个气体喷出口的内壁部,固定于内壁部以在该内壁部外侧形成中空部的外壁部,及连接于该外壁部以对该中空部供应还原气体或惰性气体的管件;形成在该内壁部之气体喷出口,系形成为内壁部开口侧之气体喷出量较内侧多。如申请专利范围第1项之打线装置之球体形成装置,其中,该内壁部之横截面系形成为U字形或@sIMGCHAR!d10009.TIF@eIMG!字形。一种接合装置,其特征在于,具备:毛细管,系设于接合臂之前端;周壁部,用以在该毛细管周围形成气体环境气氛空间,在该接合臂侧具有敞开部,朝向该接合臂侧围绕该毛细管周围以包入该毛细管,在与该毛细管侧相对向之内壁面具有复数个气体喷出口;放电枪,从该周壁部之下部侧朝向该毛细管之前端侧插入于该气体环境气氛空间内,用来在插通于该毛细管之引线前端形成球体;以及补给路,从该周壁部之下部侧朝向该毛细管之前端侧插入于该气体环境气氛空间内,用来补给气体环境气氛;该补给路系与该放电枪一体化设置。如申请专利范围第3项之接合装置,其中,该补给路与该放电枪,系设成相对该周壁部具有既定的固定位置关系。如申请专利范围第4项之接合装置,其具备能使该周壁部从该该毛细管退开的退开机构。如申请专利范围第3项之接合装置,其具备安装于配置成与该接合臂具有既定位置关系的定位用摄影机,相对该毛细管,能在气体环境气氛形成位置与退开位置之间移动的该退开机构。
地址 日本