发明名称 CORRECTED MICROSCOPE AND METHOD FOR CORRECTING THE XYZ DRIFT CAUSED BY TEMPERATURE CHANGE
摘要
申请公布号 EP1549990(A1) 申请公布日期 2005.07.06
申请号 EP20030769504 申请日期 2003.10.01
申请人 LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH 发明人 GILBERT, MANFRED
分类号 G02B21/24;G02B21/26;G02B21/36;(IPC1-7):G02B21/24 主分类号 G02B21/24
代理机构 代理人
主权项
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