发明名称 交指型共挤设备及用于沉积包括交指型材料的结构的方法
摘要 共挤设备,具有:至少一个第一入口,接收第一材料;至少一个第二入口,接收第二材料;第一组合通道,接收第一材料和第二材料并将它们组合成在第一方向上流动的第一组合流;分裂通道,接收第一组合流并将它分裂成至少部分地正交于第一方向的第二方向上的至少两个分裂流,每个分裂流由第一材料和第二材料组成;第二组合通道,接收分裂流并将它组合成第一方向上的第二组合流;及至少一个出口,布置为允许材料作为单个流流出该设备。用于沉积包括交指型材料的结构的方法,包括:将至少两个材料的流合并成第一方向上的第一组合流;在第二方向上分割第一组合流以产生至少两个分离流,其中该第二方向垂直于该第一方向;将两个分离流合并成第二组合流。
申请公布号 CN102646752B 申请公布日期 2016.08.31
申请号 CN201110425122.1 申请日期 2011.12.16
申请人 帕洛阿尔托研究中心公司 发明人 D·K·福克;K·A·利陶
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人 杨勇;郑建晖
主权项 一种共挤设备,包括:至少一个第一入口,用于接收第一材料;至少一个第二入口,用于接收第二材料;第一组合通道,所述第一组合通道被布置为接收所述第一材料和所述第二材料,并将所述第一材料和所述第二材料组合成在一个第一方向上流动的一个第一组合流;至少两个分裂通道,所述至少两个分裂通道被布置为与所述第一组合通道相连接并且接收所述第一组合流,并在一个第二方向上将所述第一组合流分裂成至少两个分裂流,所述第二方向至少部分地正交于所述第一方向,其中每个分裂流是由所述第一材料和所述第二材料组成;第二组合通道,所述第二组合通道被布置为接收所述分裂流,并将所述分裂流组合成在所述第一方向上的一个第二组合流;及至少一个出口,所述至少一个出口被布置为允许所述材料作为单个流流出所述设备;其中所述第一组合通道和所述第二组合通道还被布置为分别聚焦所述第一组合流和所述第二组合流,以使得所述第一组合流和所述第二组合流各自的横向延伸量小于该流被组合之前的个体流的横向延伸量之和的横向延伸量。
地址 美国加利福尼亚州