| 摘要 |
묘화 장치에서는, 기판상의 복수의 표지인 표지 집합의 측정 위치가 취득된다. 계속해서, 표지 집합으로부터 선택된 주목 표지군을 제외한 잔여 표지군의 측정 위치 및 설계 위치에 의거하여, 복수의 보정 모드로 주목 표지군의 설계 위치를 각각 보정하여, 각 보정 모드에 의한 주목 표지군의 보정 위치가 취득된다. 그리고, 각 보정 모드에 대해, 주목 표지군의 보정 위치의 측정 위치로부터의 편차를 나타내는 표지 평가값이 구해진다. 다음에, 각 보정 모드에 관하여, 각 주목 표지군에 대해 구해진 표지 평가값에 의거하여, 보정 모드의 보정 정밀도를 나타내는 보정 모드 평가값이 구해진다. 그 후, 복수의 보정 모드의 보정 모드 평가값이 비교되어 보정 정밀도가 가장 높은 보정 모드가 선택되고, 선택된 보정 모드로 묘화 데이터가 보정된다. 묘화 장치에서는, 복수의 보정 모드로부터 적절한 보정 모드를 자동적으로 선택할 수 있다. |
