基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法

摘要

本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法，属微细电解加工领域。包括：阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；其特征在于：PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。采用本发明进行电解加工，磁性PDMS掩模在磁场下可以紧密贴合在阳极工件表面，提高电解加工微坑阵列的定域性。

主权项

一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统，包括：阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；上述夹具（5）内部为工作腔，阳极工件（3）、PDMS掩模、阴极工具（1）、永磁体（4）均位于工作腔内；阳极工件（3）和阴极工具（1）分别连接电源（7）正负极；上述夹具（5）具有进液口和出液口，进液口位于夹具上方，出液口沿周向均匀分布于夹具侧壁；上述阴极工具（1）位于PDMS掩模上方，阳极工件（3）位于PDMS掩模下方，阴极工具具有均匀群缝结构，PDMS掩模具有通孔阵列；其特征在于：上述PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。