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发明名称 Vakuumbeschichtungsanlage mit einem in der Vakuumkammer angeordneten Tiegel zur Aufnahme von zu verdampfendem Material
摘要
申请公布号 DE59600476(D1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 DE19965000476 申请日期 1996.10.26
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, 63450 HANAU, DE;STEINIGER, GERHARD, 63549 RONNEBURG, DE
分类号 C23C14/02;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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