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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10325854(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970135460 申请日期 1997.05.26
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAJIMA KATSUYA
分类号 G01R31/28;G01R31/30;H01L21/822;H01L27/04;H03L7/099;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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