| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY DISCHARGE METHOD, ITS DEVICE, AND HIGH FREQUENCY PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317299(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19990007581 |
申请日期 |
1999.01.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TONOYA JUNICHI;SUZUKI HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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