| 摘要 |
본 발명은 스퍼터링 장치에 관한 것으로서, 다각기둥 형상이며 중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제1회전 타겟; 상기 제1회전 타겟과 나란하게 설치되며, 다각기둥 형상이며 중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제2회전 타겟; 상기 제1 및 제2회전 타겟의 아래에 설치되며 상기 제1 및 제2회전 타겟에서 각각 방출된 증착 물질이 증착되는 피증착물; 상기 제1 및 제2회전 타겟과 상기 피증착물 사이에 설치되며, 상기 피증착물을 덮거나 노출시키는 메인 셔터 유닛; 상기 메인 셔터 유닛과 상기 피증착물 사이에 수평방향으로 이동 가능하게 설치되며, 증착 패턴이 마련된 증착 마스크 유닛; 및 상기 제1회전 타겟, 제2회전 타겟, 메인 셔터 유닛 및 증착 마스크 유닛을 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 제1 및 제2회전 타겟의 다각기둥의 측면에는 각각 다른 증착 물질을 방출하는 타겟이 설치되며, 증착시 상기 피증착물과 마주하는 상기 제1회전 타겟의 타겟과 상기 제2회전 타겟의 타겟에서 방출되는 증착 물질이 다르도록 형성된다. |
