- DUAL-CHANNEL SHOWERHEAD FOR FORMATION OF FILM STACKS
摘要
이중-채널 샤워헤드를 위한 방법 및 장치가 제공된다. 일 실시예에서, 샤워헤드는 전도성 재료를 포함하는 본체를 포함하고, 본체는, 제 1 가스 채널을 포함하는, 본체를 통하여 형성된 복수의 제 1 개구부들, 및 제 1 가스 채널로부터 유체적으로 분리된 제 2 가스 채널을 포함하는, 본체를 통하여 형성된 복수의 제 2 개구부들을 가지며, 제 1 개구부들 각각은 제 2 개구부들 각각과 상이한 기하학적 형상을 갖는다.
申请公布号
KR20160130166(A)
申请公布日期
2016.11.10
申请号
KR20160053319
申请日期
2016.04.29
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
ALAYAVALLI KAUSHIK;HAN XINHAI;JHA PRAKET P.;OGATA MASAKI;JIANG ZHIJUN;KO ALLEN;MUKUTI NDANKA O.;BRITCHER THUY;BANSAL AMIT KUMAR;BALASUBRAMANIAN GANESH;ROCHAALVAREZ JUAN CARLOS;KIM BOK HOEN
