| 摘要 |
본 발명은 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 챔버 내의 플라즈마 공간과 윈도우 표면 사이의 경계에 대응하는 관심 공간에 대한 깊이별 복수의 단층 영상을 획득하는 단계와, 상기 복수의 단층 영상 내에서 각각 임의의 그레이 스케일 범위에 속하는 입자들의 총 개수를 환산하여 모두 합산하는 단계와, 상기 합산 값을 각 시점 별로 수집하는 단계, 및 상기 수집한 합산 값을 이용하여 상기 윈도우의 클리닝 상태를 판단하는 단계를 포함하는 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법을 제공한다. 상기 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법 및 그 장치에 따르면, 플라즈마 챔버의 윈도우 모니터링 방법 및 그 장치에 따르면, 플라즈마 챔버의 윈도우 표면에 증착되는 물질의 공간적 분포와 변이를 실시간 감시할 수 있어 윈도우 클리닝 시기를 효과적으로 결정할 수 있으며 플라즈마 공정 효율을 높일 수 있는 이점이 있다. |
