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经营范围
发明名称
SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
EP0946970(A1)
申请公布日期
1999.10.06
申请号
EP19970910404
申请日期
1997.10.01
申请人
STEAG MICROTECH GMBH
发明人
OSHINOWO, JOHN
分类号
H01L21/683;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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