电子器件、包括这种器件的半导体器件和制造这种器件的方法

摘要

本发明涉及一种电子器件，它包括具有连接区域(4、5)的诸如SAW(＝表面声波)滤波器(2、3)的电子组件(2、3)。滤波器(2、3)借助在滤波器(2、3)上面形成空腔(7)的盖(6)从环境封离。依照本发明，盖(6)由漆层(6A)构成，漆层(6A)在滤波器(2、3)的位置配备有开口(7′)并且被关闭开口(7′)的光阻材料层(6B)所覆盖、使得这样形成的空腔(7)在滤波器(2、3)上面的任何位置的厚度均大于零。这使得可以借助滤波器(2、3)进行精确和稳定的频率选择，并允许根据本发明的器件非常紧凑和容易生产。因而根据本发明的器件非常适用于如移动电话之类的应用，并且在将本发明的器件与半导体器件结合之后也是如此。光阻材料层(6B)和漆层(6A)最好在连接区域(4、5)的位置包括另外的开口(8)，这些开口配备有触块(9)、最好是焊块(9)。光阻材料层(6B)最好包括防焊料的固体箔(6B)。本发明还包括制造根据本发明的器件的方法以及其中集成有根据本发明的器件的半导体器件。

主权项

1.一种电子器件，它包括主体(10)，所述主体包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设置至少一个电子组件，所述电子组件连接到一个或多个连接区域(4、5)并通过组件上的盖(6)从环境封离，所述盖设置在衬底(1)上并且在所述组件的上面形成空腔(7)，所述盖(6)包括位于衬底(1)上并在组件的位置配备有开口(7’)的第一壳体，所述盖还包括位于第一壳体上并关闭开口(7’)的第二壳体，其特征在于：所述第一壳体包括漆层，而所述第二壳体包括光阻材料层，以及这样选择开口(7’)的横向尺寸和光阻材料层的厚度及材料、使得空腔(7)的厚度在整个组件表面均大于零。