基板上に層を形成するための還元剤としてのビス（トリメチルシリル）６員環系および類縁化合物

摘要

酸化状態にある原子を有する第１化合物をビス（トリメチルシリル）６員環系または類縁化合物と反応させることにより、該原子が第１化合物よりも還元された状態にある第２化合物を生成する。この酸化状態にある原子は、周期律表第２〜１２族、ランタニド、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｔｅ、Ｓｉ、Ｇｅ、ＳｎおよびＡｌからなる群から選択される。【選択図】図１