| 发明名称 |
SCHWERKRAFTINDUZIERTE DURCHBIEGUNG EINER MEMBRAN ZUR DRUCKMESSUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69617240(D1) |
申请公布日期 |
2002.01.03 |
| 申请号 |
DE1996617240 |
申请日期 |
1996.06.24 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER |
发明人 |
HINKLE, D. |
| 分类号 |
G01L7/16;G01L27/00;(IPC1-7):G01L27/00;G01L9/00 |
主分类号 |
G01L7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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