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发明名称 WAFER TRANSFER ROBOT EQUIPPED WITH DISTANCE MEASURING SENSOR
摘要
申请公布号 KR20060064862(A) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 KR20040103536 申请日期 2004.12.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YOUNG IL
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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